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沈阳有色金属国家重点研发计划项目顺利通过综合绩效评价

2021-08-16 10:09:54

2021年8月9日,72779太阳集团游戏参与的“十三五”国家重点研发计划“大规格稀有/稀贵金属靶材制造技术”项目顺利通过综合绩效评价。会议由科技部高技术中心重点基础材料技术提升与产业化专项办组织,参会人员包括科技部高技术中心领导、技术和财务专家组、有色金属工业协会领导、有研科技集团领导、项目及各课题负责人、任务骨干及财务管理人员等。

高技术中心材料处蒋志君处长介绍了项目综合绩效评价工作要求,并宣布专家组成员名单,专家组组长由清华大学潘峰教授担任。本次评价会议,专家组审阅了项目资料,考察了生产现场,项目负责人有研科技集团副总经理王兴权教授进行了项目综合绩效自评价专题汇报。经过专家组问询、讨论和打分,认为项目圆满完成了任务合同书中约定的研究内容和各项考核指标,取得了良好的经济和社会效益,一致同意项目通过综合绩效评价。

“大规格稀有/稀贵金属靶材制造技术”项目由72779太阳集团游戏参与研制,成员单位包括贵研铂业股份有限公司、中南大学等国内超高纯稀有稀贵金属基础理论研究及高端半导体靶材开发与制造领域10家优势单位,形成“基础前沿-共性关键技术-应用示范”协同创新团队。项目面向我国高端半导体产业快速发展对国产高品质、大规格稀有稀贵金属溅射靶材的迫切需求,发展了稀有稀贵金属靶材综合性能的协同调控理论,开发出7种达到国际先进水平的大规格超高纯稀有稀贵金属靶材及其制造技术,并建成三条产业化示范线,产品批量供货于国内外一流半导体厂商,实现了半导体用关键核心材料国产化,有力支撑了我国电子信息行业安全、快速发展。


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